专利摘要:
メモリーは、複数の動作モードの内で構成可能である。動作モードは、メモリーの格納行列内の各セルと関連付けられるべき格納レベルの数を指令し得る。
公开号:JP2011513884A
申请号:JP2010548674
申请日:2009-02-18
公开日:2011-04-28
发明作者:ウォード パーキンソン、
申请人:オヴォニクス,インコーポレイテッド;
IPC主号:G11C13-00
专利说明:

[0001] 発明は、プログラム可能抵抗メモリーにアクセスすることに関する。より特定には、この発明はプログラム可能抵抗メモリー装置からの読み出しおよびそれへの書き込みに関する。]
背景技術

[0002] プログラム可能抵抗メモリーは、様々なメモリーを含むが、相変化メモリーはその一つである。相変化メモリーアレイは、2つの材料相、またはその勾配の間で切り替わって対応する明瞭に区別された電気的特性を発顕するメモリーエレメントに基づいている。カルコゲナイドまたはカルコゲニック材料と呼ばれる、Te、SまたはSeのような周期表の第VI群の元素の合金は、相変化メモリーセルで有利に使用されることができる。カルコゲナイドでは、材料がアモルファス(より抵抗性)相から結晶(より導電性)相に経過する、またはその逆の時に、抵抗値が2桁以上の大きさで変化する。アモルファス状態では、しかも、抵抗値は温度に依存する。]
[0003] カルコゲナイドメモリー装置は、メモリー動作の基礎として材料について利用可能な幅広いレンジの抵抗値を利用し得る。各抵抗値は、カルコゲナイド材料の明瞭に区別された構造的状態に対応し、一つ以上の状態が選択されて動作メモリー状態を規定するのに使用されることができる。カルコゲナイド材料は、結晶状態または相もアモルファス状態または相も発顕する。カルコゲナイド材料の異なる構造的状態は、カルコゲナイド材料の与えられた容積または領域での結晶およびアモルファス相の相対的比率について異なる。抵抗値のレンジは一般に、カルコゲナイド材料のセット状態およびリセット状態によって限定される。慣例により、セット状態はその電気的性質が主にカルコゲナイド材料の結晶部分によって制御される低抵抗の構造的状態であり、リセット状態はその電気的性質が主にカルコゲナイド材料のアモルファス部分によって制御される高抵抗の構造的状態である。]
[0004] 相変化は、局所的に温度を増加することによって誘起され得る。150℃より下では、両方の相が安定である。200℃より上では、クリスタライトの急速な核形成があり、もし材料が十分に長時間の間結晶化温度に保たれれば、それは相変化を起こして結晶になる。カルコゲナイドをアモルファス状態に戻すには、融解温度(約600℃)より上に温度を上げて、それからそれを急速に冷却する、即ちクエンチする必要がある。電気的観点からすると、ジュール効果によってカルコゲナイド材料を加熱する結晶抵抗エレメントを通して電流が流れることを引き起こすことによって結晶化および融解温度に達することが可能である。]
[0005] カルコゲナイドメモリー材料の各メモリー状態は、明瞭に区別された抵抗値に対応し、各メモリー抵抗値は、固有の情報内容を意味する。動作的には、カルコゲナイド材料は、カルコゲナイド材料を望ましい抵抗値を有する構造的状態に変換するように適切な振幅と持続期間の電気的電流パルスを提供することによって特定のメモリー状態にプログラムされることができる。カルコゲナイド材料に提供されるエネルギーの量を制御することによって、材料の容積内の結晶およびアモルファス相領域の相対的比率を制御し、それにより情報を格納するようにカルコゲナイド材料の構造的(および対応するメモリー)状態を制御することが可能である。]
[0006] 各メモリー状態は、状態の電流パルス特性を提供することによってプログラムされることができ、各状態は、抵抗値を測定することによって非破壊的なやり方で同定または「読み出し」されることができる。異なる状態の内のプログラミングは完全に反転可能であり、メモリー装置は強健で信頼性のある動作を提供するように事実上無制限のサイクル数に渡って書き込みおよび読み出しされることができる。カルコゲナイド材料の可変抵抗メモリー機能性は、市場に現れ始めているOUM(Ovonic Universal (or Unified) Memory)装置において現在役立てられている。OUM型装置の基本的原理と動作は、例えば、その開示がここに引用によって組み込まれる米国特許第6,859,390号、第6,774,387号、第6,687,153号、および第6,314,014号や、Pirovana et al.によってEE Transactions on Electron Devices, vol. 51, p. 714-719 (2004)に出版された”Low Field Amorphous State Resistance and Threshold Voltage Drift in Chalcogenide Materials”、およびWeissによってIEEE Spectrum, vol. 167, p. 363-364 (2005)に出版された”Morphing Memory”を含んだいくつかの刊行物記事に提示されている。]
[0007] カルコゲナイド材料の(スイッチング、メモリー、および蓄積を含んだ)振る舞いと化学的組成は、例えば、その開示がここに引用によって組み込まれる以下の米国特許:第6,671,710号、第6,714,954号、第6,087,674号、第5,166,758号、第5,296,716号、第5,536,947号、第5,596,522号、第5,825,046号、第5,687,112号、第5,912,839号、および第3,530,441号、に開示されている。これらの文献は、カルコゲナイド材料の振る舞いを支配する提案された機構を提示している。文献はまた、カルコゲナイド材料の電気的および光学的プログラミングの動作中に結晶およびアモルファス領域の相対的比率が変動する一連の部分的な結晶状態を介した結晶状態からアモルファス状態への(またはその逆の)構造的変換も記載している。]
[0008] カルコゲニック装置の性能特性を最適化する努力として幅広いレンジのカルコゲナイド組成が研究されてきた。カルコゲナイド材料は一般に、カルコゲン元素と一つ以上の化学的または構造的変性エレメントを含む。カルコゲン元素(例えば、Te、Se、S)は周期表の第VI列から選択され、変性エレメントは、例えば、周期表の第III列(例えば、Ga、Al、In)、第IV列(例えば、Si、Ge、Sn)または第V列(例えば、P、As、Sb)から選択されても良い。変性エレメントの役割には、カルコゲン元素を構成する連鎖間のブランチングまたはクロスリンキングのポイントを提供することが含まれる。第IV列の変性因子は、カルコゲナイド連鎖内の2つの座標位置とカルコゲナイド連鎖から離れるブランチングまたはクロスリンキングを許容する2つの座標位置を含んだ四座標変性因子として機能することができる。第IIIおよびV列の変性因子は、カルコゲナイド連鎖内の2つの座標位置とカルコゲナイド連鎖から離れるブランチングまたはクロスリンキングを許容する1つの座標位置を含んだ三座標変性因子として機能することができる。本発明の原理に従った実施形態は、二元、三元、四元およびより高次のカルコゲナイド合金を含み得る。カルコゲナイド材料の例は、その開示がここに引用によって組み込まれる米国特許第5,166,758号、第5,296,716号、第5,414,271号、第5,359,205号、第5,341,328号、第5,536,947号、第5,534,712号、第5,687,112号、および第5,825,046号、に記載されている。カルコゲナイド材料はまた、例えば、N2またはO2のようなガスで窒化または酸化カルコゲナイドを形成する反応スパッタリングプロセスの結果物であっても良く、カルコゲナイドはイオン注入またはその他のプロセスによって変性されても良い。]
[0009] OUMに基づくメモリーのようなプログラム可能抵抗メモリーは、様々なアプリケーションの要求に対処することができるが、仕様の1つのセットについての最適解は、別のアプリケーションでのそのようなメモリーの性能とは相容れないかもしれない。例えば、いくつかのアプリケーションでの高速動作についての要求は、他のアプリケーションでの高密度格納についての要求とは、相反する目的で働き得る。高速動作と高密度格納の要求を受け入れることができるメモリーは従って極めて望ましいものであろう。]
[0010] 本発明の原理に従ったメモリーは、複数の動作モードの内で構成可能である。各動作モードは、それと関連付けられた固有の書き込みおよび/または読み出し特性を有し得る。]
[0011] 描写的実施形態では、メモリーは、一つのモードではメモリー内のメモリーセルを所定の数の状態の一つにプログラムし、別のモードでは同じセルを異なる所定の数の状態の一つにプログラムするように構成され得る。より多くの数の状態を特徴としたこれらのモードは読み出しまたは書き込みにより多くの時間を要求し得るので、メモリーまたはメモリーの一つのセクションは、より高い速度を要求するアプリケーションについてはより少ない数の状態で動作するように構成されても良い。速度が決定的に重要ではなく、より高い密度が望ましいアプリケーションについては、同じメモリーが、より高い密度とより低い速度の動作を提供するモードで動作するように構成されても良い。]
[0012] 描写的実施形態では、少なくとも一つのプログラミングモードが4つ以上のプログラム状態を含み、一つのプログラミングモードが2つのプログラム状態を含む。メモリーの全体または一部は、どちらかのモードで動作するように構成されても良い。]
図面の簡単な説明

[0013] 図1は、本発明の原理に従った相変化メモリーの概念的ブロック図である。
図2は、そのようなメモリーの描写的実施形態において利用されるモード制御回路のより詳細な様子を伴った、本発明の原理に従ったプログラム可能抵抗メモリーの概念的ブロック図である。
図3Aは、本発明の原理に従った二値動作モードのための抵抗から論理レベルへのマッピング図である。
図3Bは、本発明の原理に従った四値動作モードのための抵抗から論理レベルへのマッピング図である。
図4Aは、本発明の原理に従ったモード制御エンコーダーのブロック図である。
図4Bは、本発明の原理に従ったエンコーダーによって実装され得るような抵抗から論理値へのマッピングである。
図5は、本発明の原理に従った相変化メモリーを採用する電子デバイスの概念的ブロック図である。] 図1 図2 図3A 図3B 図4A 図4B 図5
実施例

[0014] この発明は、いくらかの好ましい実施形態によって記載されるが、ここに説明される全ての利点および特徴を提供しない実施形態を含む当業者に自明なその他の実施形態も、この発明の範囲内である。様々な構造的、論理的、プロセスステップの、化学的および電気的変更が、発明の精神または範囲を逸脱することなくなされても良い。従って、発明の範囲は添付の請求項を参照することによってのみ規定される。]
[0015] 図1の概念的ブロック図に描かれているように、本発明の原理に従ったメモリー100は、メモリーアレイ102と、入出力(I/O)回路104と、コントロールおよびタイミング回路106を含む。メモリーアレイ102は、メモリーセルのクロスポイント行列108と、行110および列112のドライバーを含む。入出力回路104は、メモリーアレイ102の外部の回路に信号を送り、メモリーアレイ102の外部の回路から信号を受け取るためのドライバーを含む。そのために入出力回路104がインターフェースを提供するところのメモリーアレイの外部の回路は、メモリーアレイ102と同じ集積回路を共有していても良いし、別の「チップ」上に位置していても良い。タイミングおよびコントロール回路106は、モードコントロール回路114を含む。] 図1
[0016] 本発明の原理に従って、モードコントロール回路は、メモリー100を複数の動作モードの内で構成するように動作させられ得る。各モードは、それと関連付けられた固有の書き込みおよび/または読み出し特性を有し得る。描写的実施形態では、メモリー100は、一つのモードではメモリー内のメモリーセルを所定の数の論理状態の一つにプログラムし、別のモードでは同じセルをより多くの数の論理状態の一つにプログラムするように構成され得る。メモリー100全体またはメモリーの一つのセクション(より特定には、行列108)は、より高い速度を要求するアプリケーションについてはより少ない数の状態で動作するように構成されても良い。速度が決定的に重要ではなく、より高い密度が望ましいアプリケーションについては、同じメモリー100(より特定には、行列108)またはその一部が、より高い密度とより低い速度の動作を提供するモードで動作するように構成されても良い。]
[0017] 図2の描写的実施形態では、本発明の原理に従ったマルチモードメモリーは、相変化メモリーアレイ200にデータを書き込み、そこからデータを読み出すように構成されたメモリーアクセス回路を含む。相変化メモリーアレイは既知であり、例えば階層的メモリーとして組織されていても良い。メモリーアレイ200は、例えば、行(ワードラインとも呼ばれる)および列(ビットラインとも呼ばれる)のデコーダーと、ドライバートランジスター装置と、行および列の相互接続コンダクターを持った、2次元行列に配列された相変化メモリーセルを含んでも良い。相変化メモリーアレイは既知であり、例えば、Lowrey et al.に対して発行された米国特許第6,813,177号に説明されており、それはここで引用により組み込まれる。] 図2
[0018] メモリーの各ブロック内では、ADDRESS DECODE, READ, WRITE,DATA信号が、どのセルにアクセスし、アクセスされたセル上でどの動作を行うかを決定するために使われる。本発明の原理に従ったメモリーは、各動作(例えば、READ, WRITE00, WRITE01, WRITE10, WRITE11等)について異なる電流/電圧ソースを採用しても良く、様々なアクセス動作を行うように同じソースを再構成しても良い。メモリー、この描写的実施形態ではより特定にはコントロール回路224は、セルが読み出されるべきか書き込まれるべきかだけでなく、加えてもしそれが書き込みされているかどうかと、どの状態でセルが書き込みされるべきかを予め決定する。そのような動作は、以下でより詳細に記載される。]
[0019] アクセス回路は、メモリー200内のどのセル上でどの動作(即ち、READ, WRITE01, WRITE10, WRITE11等)が行われるかを、メモリーをアクセスしている回路からの入力に応答して決定する、アドレス、データおよび読み書きデコード回路を含む。この描写的実施形態では、モードコントロール回路114が、不揮発性メモリー、活性化されたフューズまたはアンチフューズまたはその他の機構の形であっても良い、一つ以上の入力信号を受け付け、モードコントロール回路114への信号入力の値に従ってメモリーの動作モードを制御する。この描写的実施形態では、コントロール回路114は、マイクロ命令ストア222を通してシーケンサーのパスを変更するようにマイクロシーケンサー220上で動作し、選ばれたパスはモードコントロール回路114に格納された動作モードと関連付けられている。マイクロ命令ストアは一方で、メモリーアレイ200へのアクセスの実行を実施するようにコントロール回路224上で動作する。]
[0020] 本発明の原理に従ったメモリーは、メモリーのブロックがアレイ中に分散された階層的アーキテクチャーを採用しても良い。描写的実施形態では、メモリーの各ブロックとブロック内の各ビットは、行および列のアドレスバッファーおよびデコーダーを通してアクセスされても良い。アレイ内のメモリーセルへの書き込みのための対象とされた情報(例えば、データまたは制御コード)は、以下でより詳細に記載されるやり方で、データバッファー内に格納されて、それからセルに書き込まれても良い。「オフメモリー」で入出力回路を通しての提示のために、アレイ内のメモリーセルから情報を読み出して、それから情報をデータバッファー中に格納するのに、センス増幅器が採用されても良い。]
[0021] デコードされたアドレスは、READ, WRITEのような信号と00、01、10、11のようなデータ値との組み合わせで、適切な電流ソースを選択されたメモリーセルにルーティングするのに採用されても良い。本発明の原理に従って、モード選択回路114の状態は、メモリー200が様々なモードのどれで動作するかを決定する。前述したように、モード選択回路114の状態は、例えばフューズまたはアンチフューズを活性化することによって設定されても良い。そのようなモード選択プロセスは、例えば、製造中、搬送中、他の回路との一体化中、またはエンドユーザによって行われるカスタム化プロセス中に、行われても良い。]
[0022] 描写的実施形態では、モード選択回路114は、モード回路114に設定された動作モードに依存して、マイクロストア回路222内に格納されたマイクロプログラム内の代替的位置を渡り歩くように、マイクロシーケンサー220と共に動作する。マイクロストア222内のコード化されたマイクロプログラムは、動作(例えば、READ, WRITE)、データ(例えば、00、01、10、11)に従って、およびメモリーの動作モード(例えば、二値格納または四値格納)に従って、アレイ200内のメモリーセルにアクセスするようにコントロール回路224を動作させる。]
[0023] 描写的実施形態では、コントロール回路224は、アクセスされたメモリーセルに印加される電流の量を制御するデジタル−アナログ変換器を含む。格納されたマイクロプログラムに従ってデジタル−アナログ変換器を動作させることは、様々なアクセス動作を実施するために異なる振幅、持続期間、形状および周波数の電流パルスを印加することをメモリーに許容する。マイクロプログラム、マイクロシーケンサーおよびそれらに付随するコントローラは既知であり、例えば、メモリーセルフテストで使用されている。プログラム可能抵抗メモリー中に変化させられた電流パルスを作成するのにデジタル−アナログ変換器を使用することは既知であり、例えば、2008IEEE International Solid StateCircuits Conferenceのsession 23でFerdinando Dedeschi et al. によって提示された”A MULTI-LEVEL CELLBIPOLAR SELECTEDPHASE-CHANGEMEMORY” に記載されており、それはここで引用により組み込まれる。]
[0024] この描写的実施形態では、メモリー200は、64メモリーブロック202の8×8アレイに組織されている。各ブロックは、メモリーセル204のアレイと、各ブロック202内の個々のメモリーセル210へのアクセスを提供する列206および行208のアクセス回路を含んだ周辺回路と、を含む。周辺アレイ回路212は、行および列のデコーダーとドライバーと、データおよびアドレスバッファーと、センス増幅器と、電流ソースを含む。周辺アレイ回路212は、メモリーブロック202へのアクセスのためのトップレベルデコーディングを提供し、適切な読み出しまたは書き込みバッファー、センス増幅器、および電流ソースを選択されたメモリーブロック202にスイッチ/イネーブルする。]
[0025] 描写的実施形態では、少なくとも一つのプログラミングモードが4つ以上のプログラム状態を含み、一つのプログラミングモードが2つのプログラム状態を含む。メモリーの全体または一部は、モードによってプログラム状態のいずれでも動作するように構成されても良い。本発明の原理に従ったメモリーは、異なるメモリータイプのセグメントを含んでも良く、そのいくつかはマルチレベル動作(つまり、2つより多くの格納レベル)により好適であり、いくつかは二値動作(典型的にSETとRESETと呼ばれる2つの格納レベルを採用する動作)により好適である。異なるタイプのメモリーセグメントは、例えば、異なる相変化材料組成、異なるセルタイプ、または異なるセル構造の使用を通して、それらそれぞれの好ましい動作モード(例えば、マルチレベルまたは二値)について最適化されても良い。モードは、ボンドやレーザーフューズブローイングのような不揮発性アプローチの使用によって、または入出力からのようなパワー投入の際に積載され揮発性または不揮発性のオンチップメモリー中に格納された電子キーの使用のようなソフトワイヤー技術を通して、ハードワイヤーされても良い。]
[0026] 本発明の原理に従って、各メモリーセグメントまたはブロック(アドレスレンジまたはセクターによる)は、モードによって、二値またはメモリーセル当り4レベル(物理的メモリーセル当り2論理ビット)のような異なる度合いのマルチレベル動作のような複数のプログラムモードで動作するように構成されても良い。代替的に、メモリーアレイからのアナログ信号(つまり、メモリーセルのプログラムされたレベルを表す電圧信号のような信号)が、外部回路に(pinに直接またはアナログ−デジタル変換器を通して)提供されても良く、モードコントロール回路114は外部の読み出しおよび書き込みを制御しても良い。]
[0027] 加えて、メモリーの一つ以上の部分が、モードコントロール回路114の制御下で、エラー訂正回路(ECC)と平行に実行されるようにモードコントロール回路114によって割り当てられても良い。このやり方では、ECCで使われる余分のメモリーがECCのために必要でない時には自由にされても良く、モードコントロール回路114がECCを不能にした時には読み出しおよび書き込みのためにタイミングがより速く流れるようになる。]
[0028] 相変化メモリーエレメントがそれぞれの上に層に積み上げられても良い3次元相変化メモリーの実施形態では、異なる層または異なる層のセグメントは、モードコントロール回路114によって異なるプログラムモードでの動作のために構成されても良い。3次元の積層された相変化メモリー構造は既知であり、例えば、”Memory Having Access Devices Using Phase Change Material Such As Chalcogenide”と題された米国特許第6,795,338号に開示されており、それはここで引用によって組み込まれる。]
[0029] 動作では、周辺回路内の電流ソースが選択されたセルを、与えられたプログラムモードと関連付けられたレベルの一つ(例えば、二値プログラムモードについてのSETまたはRESET、四値プログラムモードについてのSET、RESETまたは2つの中間レベルの一つ、またはSet Resetと2つより多くの中間レベルの一つ)に対応する抵抗値にプログラムする。図3Aの論理レベル図は、二値プログラムモードで採用された2つのレベルを2つの抵抗値R1(SET)とR2(RESET)として描いている。プログラムレベルR1とR2は、メモリー内のセルの間での変動を受け入れるためにレンジを割り当てられている。この描写的実施形態では、第一のレンジRA1は名目上の抵抗R1より上からゼロ抵抗までの抵抗値を含み、第二のレンジRA2は名目上の抵抗R2より僅かに下から最高の計測可能な抵抗までの抵抗値を含む。] 図3A
[0030] この描写的実施形態では、レンジRA1とRA2の開始点は、2レベル格納については最小化または排除されても良い、未定義のレンジRAunを残すように選択されても良い。レンジRA1とRA2の開始点は、全ての有効な抵抗測定値がレンジの一つ内に入り、未定義のレンジRAun内に入るあらゆる抵抗測定値が無効であることを確かなものとするように選ばれている。レンジRA1、RA2、RAunを適切に設定するのに統計的抵抗分布が採用されても良い。]
[0031] 図3Bの論理レベル図は、本発明の原理に従ったマルチモードメモリーで採用され得るような四値論理レベルプログラムモードと関連付けられた抵抗値を描いている。この描写的実施形態では、四値プログラムモードは、それぞれ関連付けられたレンジRA3、RA4、RA5、RA6をもった4つの名目上の抵抗値R3、R4、R5、R6を含む。この描写的実施形態では、名目上の抵抗値R3は図3Aの二値モードの抵抗値R1と同じ抵抗値であっても良く、名目上の抵抗値R6は図3Aの二値モードの抵抗値R2とほぼ同じ抵抗値であっても良い。加えて、レンジRA3とRA6は、図3Aに描かれた二値モードのレンジRA1とRA2とそれぞれ同じレンジであっても良い。このように同じ抵抗レベルとレンジを使うことは、複数の可能なモードの一つで動作している時に測定された抵抗値に論理レベルを割り当てるタスクを容易にし得る。] 図3A 図3B
[0032] この描写的実施形態では、それぞれ抵抗レベルR5とR6に関連付けられたレンジRA5とRA6は、図3AのレンジRAunを分割する。相変化メモリーについては、RA4に割り当てられたより低い抵抗のレンジは、RA5に割り当てられたレンジよりも少なくても良い。本発明の原理に従って、レンジと抵抗値は異なるやり方で分散されても良く、四値モードのレンジと抵抗は、二値モードのレンジと抵抗を複製する必要はない。加えて、レンジと抵抗は全体的な抵抗レンジを通じて均一に分散している必要はなく、例えば、利用可能な抵抗分布のどちらかの端または中央に向けて名目上の抵抗値を集中することが有利であっても良い。更なる例として、図3BのRA5とRA4の交点は、図3Aの抵抗のレンジRA1とRA2に境界線を引くのにも使われる交点であっても良い。これはSetとResetビットのためにより多くの動作領域を提供する。] 図3A 図3B
[0033] 動作では、図2の周辺回路212が、メモリーセルから読み出されたかまたはそれに書き込まれた測定された抵抗値に論理値を割り当て、メモリー200にアクセスする回路にそれらの論理値を利用可能とする。描写的実施形態では、周辺回路212は、論理値割り当て機能を行うセンス増幅器と比較器を含む。そのような実施形態では、センス増幅器が、読み出されているメモリーセルの抵抗に対応した電圧信号を、レンジRA1−RA6の境界を定める比較器のバンクに提供する。] 図2
[0034] 図4Aの概念的ブロック図は、本発明の原理に従ったマルチモードメモリーの周辺回路212内に含められ得るようなデータ変換回路のより詳細な様子を提供する。この描写的実施形態では、論理レベル割り当て回路400は、比較器COMP1、COMP2、COMP3と、エンコーダー402を含む。比較器は、選択されたメモリーセルに接続されたセンス増幅器からの信号を受け取るように構成されている。比較器の出力は、図4Bのリストに従って論理値を割り当てるエンコーダー402に提示される。エンコーダーへの「モード」入力が、論理値の割り当て(例えば、二値または四値)を制御する。] 図4A 図4B
[0035] モード入力はまた、割り当て回路400によって入出力回路404にドライブされたデータビットの数を決定する。つまり、割り当て回路400は、二値モードの動作では一つのデータラインを、四値モードの動作では2つのデータラインを、入出力回路404にドライブする。同様に、周辺回路212内のアドレスデコーディング回路は、二値モードの動作では「2ビット」のデータ毎にメモリーアレイ200内の2つのセルにアクセスするが、四値モードの動作では「2ビット」のデータについてメモリーアレイ内の1つのセルだけをアクセスすることによって、「モード」入力に応答する。二値モードについては、未定義のレンジR4とR5は、代わりに0と1に割り当てられて(つまり、後続の読み出し中に抵抗の変動またはノイズについてのより多くのマージンを提供するように調整されて)も良い。]
[0036] モードコントロール回路114によって実施されるようなモードコントロールの使用は、ワンタイムプログラム可能メモリー(OTP)(例えば、ブレークダウン層と並列のダイオードをもった)として、または一つのセクションまたは層上が二値で、別のセクションまたは層上が四値、あるいは別のセクションまたは層上が他の「n値」として、メモリーの異なるセクションまたは層を使用することを許容するようにチップ、タイミングおよびドライバーをパーソナル化するのに適切な、異なるタイミングおよび書き込みアルゴリズムを雇っても良い。加えて、Nand-Flash、Nor-Flash、DRAMまたはSRAMが第一のレベル上に位置して、上の一つ以上の層上の相変化メモリーと平行に係合されても良い。一つ以上の相変化メモリー層は、第一のレベル上のOvonic Threshold Switches (OTS)または薄膜ダイオード(またはダイオードとブレークダウン層を使ったOTP)装置と並列に構成されても良い。]
[0037] 二値モードを使ったあるセグメントまたは層は、メモリーのそれらの層またはセクションのためにモードによって適切に選択されたより速いタイミングセットでもってより速いPCM溶着合金を使用しても良い。同様に、その他のセクションまたは層は、四値であって、メモリー合金としてGST 225と呼ばれる組成を使用し、マイクロコードで利用可能でありメモリーマップのためにモードによって選択可能であるものから選択された適切なタイムセットをもっていても良い。そのようなアプローチは、モードによるパーソナル化と溶着された合金(またはOTPのためのブレークダウン層)をもって、マスク変更が僅かか無しで選択可能なチップ上のメモリーの階層を許容する。]
[0038] これまでの図面に関する説明の中で記載された相変化電子デバイスは、幅広い様々なシステムにおいて特定の利点のために採用されても良い。いくつかのそのようなシステムにおけるデバイスの使用を描写するために、図5の概略図が説明される。図5の概略図は多くのコンポーネンツとデバイスを含み、そのいくつかが本発明の原理に従ったシステムの特定の実施形態のために使われる一方で、その他は使われなくても良い。他の実施形態では、その他の同様のシステム、コンポーネンツおよびデバイスが採用されても良い。一般に、システムは、相変化メモリーと共に動作するように構成された論理回路を含む。論理回路は、離散的、プログラム可能、アプリケーション特定であっても良く、あるいは例えば、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラまたはデジタル信号プロセッサの形であっても良い。またここでの実施形態は、チップ内で採用されていても良く、あるいはそのような回路に接続されていても良い。図5の例示的システムは、記載のためだけのものである。記載は、特定のコンピューター、通信、トラッキング、および娯楽システムを記載するのに一般的に使われる用語に言及するかもしれないが、記載と概念は、図5に描かれているものとは似ていないアーキテクチャーを有するシステムを含んだ、その他のシステムにも同じように適用される。様々な実施形態における電子システム500は、例えば、汎用コンピューター、ルーター、大規模データ格納システム、ポータブルコンピューター、パーソナルデジタルアシスタント、携帯電話、音楽またはビデオ再生装置または電子ゲームのような電子娯楽装置、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、デジタル信号プロセッサ、または無線周波数識別装置、として実装されても良い。図5に描かれたいずれかまたは全てのコンポーネンツは、例えば、カルコゲナイドベースの不揮発性メモリーおよび/または閾値スイッチのような、相変化メモリーまたはカルコゲナイド電子デバイスを採用しても良い。] 図5
[0039] 描写的実施形態では、システム500は、マイクロプロセッサと、情報の一時的格納のためのランダムアクセスメモリー(RAM)510と、情報の恒久的格納のためのリードオンリーメモリー(ROM)515のいくつかまたは全てと共に実装されていても良い、中央処理ユニット(CPU)505を含んでも良い。メモリーコントローラ520が、RAM510を制御するために設けられている。本発明の原理に従って、メモリーエレメント(例えば、RAMまたはROM)のいずれもの全てまたはあらゆる部分は、カルコゲナイドベースの不揮発性メモリーとして実装されても良い。]
[0040] 本発明の原理に従った電子システム500は、RAM510および/またはROM515として、またはその一部として動作する、埋め込まれたカルコゲナイドベースの電子不揮発性メモリーとの組み合わせで、CPU505として動作するマイクロプロセッサであっても良い。この描写的例では、マイクロプロセッサ/カルコゲナイド不揮発性メモリーの組み合わせは、孤立型であっても良く、またこれから記載される図5のもののようなその他のコンポーネンツと共に動作するものであっても良い。] 図5
[0041] 発明の範囲内での実装では、バス530がシステム500のコンポーネンツを相互接続する。バスコントローラ525がバス530を制御するために設けられている。割り込みコントローラ535が、システムコンポーネンツからの様々な割り込み信号を受け取り処理するために使われても使われなくても良い。バス530、バスコントローラ525、および割り込みコントローラ535のようなコンポーネンツは、例えば、孤立型コンピューター、ルーター、ポータブルコンピューター、またはデータ格納システムのそれのような、本発明の原理に従ったシステムの大規模実装の中で採用されても良い。]
[0042] 大量ストレージが、ディスケット542、CD−ROM547、またはハードドライブ552によって提供されても良い。データとソフトウェアは、ディスケット542およびCD−ROM547のような取り外し可能なメディアを介してシステム500と交換されても良い。ディスケット542はディスケットドライブ541に挿入可能であり、それは一方でコントローラ540によってバス530に接続されている。同様に、CD−ROM547はCD−ROMドライブ546に挿入可能であり、それは一方でコントローラ550によってバス530に接続されている。本発明の原理に従ったシステムのこの記載では格納装置(例えば、ディスケット)のための従来の用語が採用されているが、格納装置のいずれかまたは全ては、本発明の原理に従ったカルコゲナイドベースの不揮発性メモリーを使って実装されても良い。取り外し可能なストレージは、本発明の原理に従ったカルコゲナイドベースの不揮発性メモリーを格納媒体として採用したサムドライブのような、不揮発性ストレージコンポーネントによって提供されても良い。カルコゲナイドベースの不揮発性メモリーを、例えばディスク、CD−ROMまたはサムドライブのような従来の取り外し可能なメモリーの「プラグアンドプレイ」置き換えとして採用する格納システムが、例えば、コントローラ540、545、550のようなコントローラのためのトランスパレントなインターフェースを提供するように、既存のコントローラをエミュレートしても良い。]
[0043] システム500へのユーザ入力が、数々のデバイスのいずれかによって提供されても良い。例えば、キーボード556とマウス557が、コントローラ555によってバス530に接続される。マイクロフォンおよび/またはスピーカーの両方として働き得るオーディオトランスデューサー596が、描かれているようにコントローラ597によってバス530に接続される。ペンおよび/またはタブロイドのようなその他の入力デバイスが、バス530と、入力デバイスとしての使用のために必要とされる適切なコントローラおよびソフトウェアに接続されても良い。DMAコントローラ560が、前述した通りその全体または一部が本発明の原理に従ったカルコゲナイドベースの不揮発性メモリー装置を使って実装されても良い、RAM510への直接メモリーアクセスを行うために設けられている。視覚ディスプレイは、ディスプレイ570を制御するビデオコントローラ565によって生成される。ディスプレイ570は、与えられたアプリケーションについて適切なあらゆるサイズまたはテクノロジーのものであっても良い。]
[0044] 例えば、携帯電話またはポータブル娯楽システムの実施形態では、ディスプレイ570は、一つ以上の比較的小さい(例えば、各辺当り数インチのオーダーの)LCDディスプレイを含んでも良い。大規模データ格納システムでは、ディスプレイは、例えば、大規模マルチスクリーン液晶ディスプレイ(LCDs)、または量子ドットOLEDsを含んだ有機発光ダイオード(OLEDs)、として実装されても良い。]
[0045] システム500はまた、バス591とネットワーク595によって概略的に描かれているローカルエリアネットワーク(LAN)またはワイドエリアネットワーク(WAN)に相互接続されることをシステムに許容する、通信アダプター590を含んでも良い。入力インターフェース599は、入力デバイス593と共に動作して、コマンドおよび制御であれ、データであれ、その他のタイプの情報であれ、情報をシステム500に送ることをユーザに許容する。入力デバイスとインターフェースは、ジョイスティック、タッチパッド、タッチスクリーン、音声認識装置、またはその他の既知の入力デバイスのような数々の一般的なインターフェースデバイスのいずれかであっても良い。本発明の原理に従ったシステムのいくつかの実施形態では、アダプター590は、トランシーバー573とアンテナ575と共に動作して、例えば、携帯電話、RFID、WiFiコンピューター実装における無線通信を提供しても良い。]
[0046] システム500の動作は、オペレーティングシステムソフトウェアによって全体的に制御され協調される。オペレーティングシステムは、システムリソースの割り当てを制御し、諸々の中で処理スケジューリング、メモリー管理、ネットワーキング、入出力サービスのようなタスクを行う。特に、システムメモリー中に在駐しCPU505上で実行されるオペレーティングシステムは、システム500のその他のエレメントの動作を協調させる。]
[0047] 本発明の原理に従ったシステム500の描写的な手持ち式電子デバイスの実施形態では、当該技術分野で既知であるような、携帯電話、パーソナルデジタルアシスタント、デジタルオーガナイザー、ラップトップコンピューター、手持ち式情報デバイス、音楽および/またはビデオを再生するデバイスのような手持ち式娯楽デバイス、キーボード、ファンクションキー、ソフトキーのような小型入力デバイスが、例えば、コントローラ555、キーボード556、マウス557を置き換えても良い。送信機、記録能力等をもった実施形態はまた、マイクロフォン入力(図示せず)を含んでも良い。]
[0048] 本発明の原理に従ったシステム500の描写的なRFIDトランスポンダーの実装では、アンテナ575は、周波数F1における基地局からの尋問信号を傍受するように構成されても良い。傍受された尋問信号はそれから、信号F1を受け付けその他全てを拒絶するチューニング回路(図示せず)に導通されるであろう。信号はそれからトランシーバー573に渡され、そこでは尋問信号からなる搬送波F1の変調が既知のやり方で検出され、増幅され、成形される。検出された尋問信号はそれから、例えば、低パワーアプリケーションでは離散的論理として、または前述したとおりマイクロプロセッサ/メモリーの組み合わせとして実装されても良い、デコーダーと論理回路に渡される。尋問信号変調は、本発明の原理に従ったカルコゲナイドベースの不揮発性メモリー中からデータを読み出すかまたはそこにデータを書き込むコードを規定しても良い。この描写的実施形態では、メモリーから読み出されたデータは、第二の搬送波周波数F2におけるアンテナ575上の「返答」信号としてトランシーバー573に転送される。受動的RFIDシステムでは、パワーは尋問信号から導出され、本発明の原理に従ったカルコゲナイドベースの不揮発性メモリーによって提供されるようなメモリーはそのような使用に特に好適である。]
[0049] ここでの実施形態のいくつかの使用については、コントローラ940またはCPUは、メモリーコントローラあるいはRam910またはRom915のようなシステムメモリーに電子キーを送って、メモリーの量が倍増される(読み出しについて2×、書き込みについて10×のように)が使われるタイミングがより遅くなるように、メモリーを二値から四値に変更しても良い。そのような変更は、電子キーの使用またはモード114へのいくらかのpinsの接続を変更することによるような、モード114を駆動する電子制御下のフィールド中でなされても良い。]
权利要求:

請求項1
相変化メモリーセルと、相変化メモリーセルについてのアクセスモードの選択に関する情報を受け取り格納するように構成されたモード選択回路と、モード選択回路によって格納されたモード選択に従って相変化メモリーセルにアクセスするように構成されたアクセス回路と、を含む装置。
請求項2
アクセス回路は、複数のアクセスモードの内で構成可能であり、その各々はそれに関連付けられた固有のセル格納レベル数を有する、請求項1の装置。
請求項3
プログラムする電流振幅は、モード選択に依存している、請求項1の装置。
請求項4
プログラムする電流持続期間または追跡するエッジレートは、モード選択に依存している、請求項1の装置。
請求項5
一連のプログラムする電流パルスの数、持続期間、周波数、形状または振幅は、モード選択に依存している、請求項1の装置。
請求項6
モード選択情報を、プログラム可能抵抗メモリーと関連付けられた回路に格納するステップと、格納されたモード選択情報に従ってプログラム可能抵抗メモリーをアクセスするステップと、を含む方法。
請求項7
プログラム可能抵抗メモリーをアクセスするステップは、格納されたモード選択情報と関連付けられた格納レベルの数に従ってメモリーにアクセスすることを含む、請求項6の方法。
請求項8
モード選択情報を格納することは更に、プログラム可能抵抗メモリーの異なるセグメントについてモード選択情報を格納するステップを含み、プログラム可能抵抗メモリーをアクセスするステップは、メモリーの各セグメントについて格納されたモード選択情報に従ってメモリーの異なるセグメントにアクセスすることを含む、請求項6の方法。
請求項9
アクセスするステップは更に、メモリーの一つの部分での第一の動作速度によって特徴付けられた一つ以上の合金からなるプログラム可能抵抗メモリーにアクセスするステップと、メモリーの第二の部分での第二の動作速度によって特徴付けられた一つ以上の合金からなるプログラム可能抵抗メモリーにアクセスすることを含む、請求項6の方法。
請求項10
異なる合金からなるプログラム可能抵抗メモリー部分をアクセスするステップは、メモリーの異なる層上に位置するプログラム可能抵抗メモリー部分にアクセスするステップと含む、請求項9の方法。
类似技术:
公开号 | 公开日 | 专利标题
CN103548085B|2017-03-29|多位存储器单元的条件编程
KR101363967B1|2014-02-18|비휘발성 메모리 어레이의 페이지 모드 액세스
US6888745B2|2005-05-03|Nonvolatile memory device
CN101887350B|2013-10-23|用于存储总线接口的pcm存储器
US7215592B2|2007-05-08|Memory device with reduced word line resistance
KR101597709B1|2016-02-25|양방향성 메모리에 액세스하는 방법 및 장치
US9576648B2|2017-02-21|Method and apparatus for decoding memory
KR101237005B1|2013-02-26|저항체를 이용한 비휘발성 메모리 장치, 이를 포함하는메모리 시스템, 및 이의 구동 방법
JP2013179311A|2013-09-09|メモリまたはfplaとして使用するための通常は単相のカルコゲナイド材料のプログラミング
US8116117B2|2012-02-14|Method of driving multi-level variable resistive memory device and multi-level variable resistive memory device
US8547724B2|2013-10-01|Nonvolatile memory device comprising one-time-programmable lock bit register
US8566674B2|2013-10-22|Using a phase change memory as a high volume memory
TWI489459B|2015-06-21|具有三位準非揮發性記憶體單元之非揮發性記憶體器件之裝置及方法
CN101383180B|2012-06-13|模拟的组合存储设备及存取单个集成电路存储设备的方法
KR100866657B1|2008-11-04|상변화 메모리용 방법, 장치 및 시스템
US8143653B2|2012-03-27|Variable resistance memory device and system thereof
US7907441B2|2011-03-15|Data management method and mapping table update method in non-volatile memory device
JP2014518427A|2014-07-28|メモリのボリュームの識別子を決定する方法、装置およびシステム
US7916524B2|2011-03-29|Program method with locally optimized write parameters
US7646632B2|2010-01-12|Integrated circuit for setting a memory cell based on a reset current distribution
US8139432B2|2012-03-20|Variable resistance memory device and system thereof
TWI557738B|2016-11-11|多功能電阻改變記憶體胞及包括此記憶體胞之裝置
US20060002172A1|2006-01-05|Providing current for phase change memories
US7969806B2|2011-06-28|Systems and methods for writing to a memory
JP2007501521A|2007-01-25|アナログ相変化メモリ
同族专利:
公开号 | 公开日
CN101965616A|2011-02-02|
US8203872B2|2012-06-19|
US20090213644A1|2009-08-27|
TW200951957A|2009-12-16|
KR101717247B1|2017-03-16|
WO2009108279A2|2009-09-03|
KR20100117133A|2010-11-02|
JP5520842B2|2014-06-11|
TWI537949B|2016-06-11|
WO2009108279A3|2009-12-03|
引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
JPH06509909A|1991-08-19|1994-11-02|||
JP2003022687A|2001-07-09|2003-01-24|Mitsubishi Electric Corp|半導体記憶装置|
JP2006351061A|2005-06-14|2006-12-28|Matsushita Electric Ind Co Ltd|メモリ回路|
JP2009048757A|2007-08-14|2009-03-05|Samsung Electronics Co Ltd|3−レベル不揮発性メモリセルを含む不揮発性メモリ装置の駆動方法およびその方法を使用する不揮発性メモリ装置|JP2010262730A|2009-04-30|2010-11-18|Internatl Business Mach Corp <Ibm>|異機種混合ストレージ要素の容量を増大させる方法及びシステム|
JP2014041693A|2010-04-28|2014-03-06|Hitachi Ltd|半導体記憶装置|
JP2015528620A|2012-08-10|2015-09-28|クアルコム,インコーポレイテッド|モノリシックマルチチャネル適合可能stt−mram|AU2598895A|1994-06-02|1996-01-04|Intel Corporation|Dynamic single to multiple bit per cell memory|
US6798420B1|1998-11-09|2004-09-28|Broadcom Corporation|Video and graphics system with a single-port RAM|
US6661422B1|1998-11-09|2003-12-09|Broadcom Corporation|Video and graphics system with MPEG specific data transfer commands|
US6631085B2|2000-04-28|2003-10-07|Matrix Semiconductor, Inc.|Three-dimensional memory array incorporating serial chain diode stack|
US6501111B1|2000-06-30|2002-12-31|Intel Corporation|Three-dimensional programmable device|
US6314020B1|2000-09-29|2001-11-06|Motorola, Inc.|Analog functional module using magnetoresistive memory technology|
KR100610014B1|2004-09-06|2006-08-09|삼성전자주식회사|리키지 전류 보상 가능한 반도체 메모리 장치|
KR100744114B1|2005-05-12|2007-08-01|삼성전자주식회사|상 변화 메모리 장치 및 그 워드라인 구동방법|
KR100674983B1|2005-07-13|2007-01-29|삼성전자주식회사|구동전압 레벨을 변경할 수 있는 상 변화 메모리 장치|
JP4791806B2|2005-11-21|2011-10-12|株式会社東芝|半導体記憶装置及びそのデータ書き込み方法|
KR100781550B1|2006-11-08|2007-12-03|삼성전자주식회사|상변화 메모리 장치 및 그 파이어링 방법|
US7471556B2|2007-05-15|2008-12-30|Super Talent Electronics, Inc.|Local bank write buffers for accelerating a phase-change memory|KR101678886B1|2009-11-25|2016-11-23|삼성전자주식회사|멀티-레벨 상변환 메모리 장치 및 그 구동 방법|
US8634235B2|2010-06-25|2014-01-21|Macronix International Co., Ltd.|Phase change memory coding|
US8570799B2|2011-08-16|2013-10-29|Intel Mobile Communications GmbH|Magnetic random access memory with conversion circuitry|
CN103716152B|2013-12-25|2017-04-26|敖海|一种基于工艺偏差的芯片密钥产生方法及其电路|
KR20160148547A|2014-04-28|2016-12-26|휴렛 팩커드 엔터프라이즈 디벨롭먼트 엘피|다중모드 멤리스터 메모리|
US9613696B1|2015-12-16|2017-04-04|Stmicroelectronics International N.V.|Memory device including decoder for a program pulse and related methods|
US10373682B2|2017-12-27|2019-08-06|Sandisk Technologies Llc|Write set operation for memory device with bit line capacitor drive|
US10454025B1|2018-06-13|2019-10-22|International Business Machines Corporation|Phase change memory with gradual resistance change|
法律状态:
2012-02-15| A621| Written request for application examination|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120214 |
2013-03-25| A977| Report on retrieval|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130325 |
2013-04-10| A131| Notification of reasons for refusal|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130409 |
2013-07-09| A601| Written request for extension of time|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130708 |
2013-07-17| A602| Written permission of extension of time|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130716 |
2013-07-31| A521| Written amendment|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130730 |
2013-08-21| A131| Notification of reasons for refusal|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
2013-11-20| A601| Written request for extension of time|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20131119 |
2013-11-27| A602| Written permission of extension of time|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20131126 |
2014-02-13| A521| Written amendment|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140212 |
2014-03-05| TRDD| Decision of grant or rejection written|
2014-03-12| A01| Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140311 |
2014-04-10| A61| First payment of annual fees (during grant procedure)|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140407 |
2014-04-11| R150| Certificate of patent or registration of utility model|Ref document number: 5520842 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
2017-04-04| R250| Receipt of annual fees|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
2018-04-10| R250| Receipt of annual fees|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
2019-04-02| R250| Receipt of annual fees|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
2020-03-30| R250| Receipt of annual fees|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
2021-03-25| R250| Receipt of annual fees|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
优先权:
申请号 | 申请日 | 专利标题
[返回顶部]